一、电子厂废气来源和成分
电子行业污染主要出现在元气组件焊接和线路板表面处理等过程中产生的。电子行业废气主要为有机废气和酸碱废气两类。酸碱类有:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。有机VOCs废气种类有:异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等;这些废气直接挥发至大气中容易对大气造成污染,同时也会容易造成周围群众慢性中毒,甚至急性中毒,需经过处理后才能进行排放。
二、电子行业废气的特点
电子行业的废气具有:排放量大、浓度低、成分复杂的特点。
三、电子行业废气的处理方法
1、预处理阶段:一般采用喷淋塔先对废气进行预处理,去除粉尘以及易溶于水的有害气体。
2、主要处理阶段:在此阶段,比较常见而有效方法有焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、等离子法、光催化氧化法、催化燃烧等。
焚烧法(RTO):能耗大、运行成本高,适合处理高浓度、小风量有机废气。
吸附法(活性炭):投资小、工艺简单,易饱和,需要与脱附、冷凝、焚烧等方法联用才能满足排放要求。
冷凝法:与吸收、吸附等方法联用,将有机废气吸附浓缩后冷凝、分离,回收其中有价值的有机物。此法适用浓度高、风量小的有机废气处理场合。缺点是:投资、能耗、运行费用高,冷凝回收物提纯处理后,仍有相当部分液态废弃物需要进一步处理。该方案与生产设备、生产工艺存在匹配关系,偏离这种匹配关系将提高治理成本,影响治理效果。
光催化氧化法:采用C波段(仅次于切割不锈钢的激光,强于氩弧焊光源的数十倍强度)在设备内,强裂解恶臭物质分子链,改变物质结构,将高分子污染物质,裂解、氧化成为低分子无害物质,如水和二氧化碳等。
高温等离子净化法:经过压缩、高压聚能放电成为高温等离子体。反应器压力增高,气体体积急剧膨胀,在高温、高电势的双重作用下,有机废气瞬间(万分之5秒)成为高温等离子体,其中长分子链裂解成单质原子,有机物净化率在90%左右。
催化燃烧法:把废气加热经催化燃烧转化成无害无臭的二氧化碳和水;本法起燃温度低、节能、净化率高、操作方便、占地面积少、投资较大,适用于高温或高浓度的有机废气。