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电子工业用纯水

文章出处:未知发表时间:2021-07-17


1、概述
       半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水,纯水主要用作清洗用水 以及用来配制各种溶液、浆料。
       纯水水质已经成为影响电子元器件产品质量、生产成品率以及生产成本的重要因素之一,水质的要求也越来越高。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ·cm、15 MΩ·cm、10 MΩ·cm、2 MΩ·cm、0.5 MΩ·cm,以区分不同水质。
 
2、电子工业用超纯水的制备工艺流程
      电子工业用超纯水制备的工艺流程有下列几种:
 
(1)原水-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-精密过滤器-阳床-阴床-混合床-纯水箱-纯水泵-后置精密过滤器-用水点
 
(2)原水-多介质过滤器-活性炭过滤器――软水器-原水箱-一级反渗透-中间水箱-二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-后置精密过滤器-用水点
 
(3)原水-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-原水箱-反渗透设备-中间水箱-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-后置精密过滤器-用水点
 
(4)原水-多介质过滤器-活性炭过滤器-软水器-原水箱-反渗透设备-中间水箱-EDI装置-纯水箱-纯水泵-精制混床-精密过滤器-用水点

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